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真空砖机真空泵的选择要求注意事项

作者:zhuanji  来源:杜甫机械  时间:2013-06-23  点击次数:2748


杜甫机械真空砖机



真空砖机真空泵


真空砖机真空泵的选用真空泵时需要注意事项:

1 、真空泵的工作压强应该满足真空砖机设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要1×10—5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要 5×10—6mn1Hg 。通常选择泵的真空度要高于真空砖机设备真空度半个到一个数量级。

2 、正确地选择真空砖机真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10一3~10一7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5x10一4一5×10一6mmHg 。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10一8mmHg下长期工作。


3 、真空泵在其工作压强下,应能排走真空砖机设备工艺过程中产生的全部气体量。

4 、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。 5 、真空砖机设备对油污染的要求。若砖机设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

6 、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。


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